基本信息:
- 专利标题： 氧化防止气体吹送单元
- 专利标题（英）：Oxidation preventing gas spray unit
- 申请号：CN201280055529.2 申请日：2012-11-30
- 公开(公告)号：CN103930980A 公开(公告)日：2014-07-16
- 发明人： 前田彻 , 坂仓光昭
- 申请人： 株式会社新川
- 申请人地址： 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
- 专利权人： 株式会社新川
- 当前专利权人： 株式会社新川
- 当前专利权人地址： 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 臧建明
- 优先权： 2012-014236 2012.01.26 JP
- 国际申请： PCT/JP2012/081135 2012.11.30
- 国际公布： WO2013/111452 JA 2013.08.01
- 进入国家日期： 2014-05-12
- 主分类号： H01L21/60
- IPC分类号： H01L21/60
摘要：
本发明提供一种氧化防止气体吹送单元，其具备：中空板状基体部(10)，于内部形成有氧化防止气体流路(53)、(54)；氧化防止气体入口(20)，使氧化防止气体流入至氧化防止气体流路(53)、(54)；贯通孔(30)，以可拔插毛细管(72)的方式贯通基体部(10)的厚度方向，且与氧化防止气体流路(53)、(54)连通而使氧化防止气体流出；及薄膜加热器(40)，安装于贯通孔(30)周围的基体部(10)的外面，该氧化防止气体吹送单元可利用紧凑的构造有效果地对接合球进行加温。
摘要（英）：
This oxidation preventing gas spray unit is provided with: a base part (10) with a hollow plate shape inside which oxidation preventing gas flow paths (53, 54) are formed; an oxidation preventing gas inlet (20) that allows oxidation preventing gas to flow into the oxidation preventing gas flow paths (53, 54); a through hole (30) that passes through the base part (10) in the direction of thickness such that a capillary (72) is inserted and removed, linked to the oxidation preventing gas flow paths (53, 54), and in which the oxidation preventing gas flows; and a film heater (40) that is attached to the outer surface of the base part (10) around the through hole (30). The structure is compact and free air balls can be heated efficiently.
公开/授权文献:
- CN103930980B 防止氧化的气体的吹送单元 公开/授权日：2016-11-23
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/50 | ...应用H01L21/06至H01L21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的 |
| --------------H01L21/60 | ....引线或其他导电构件的连接，用于工作时向或由器件传导电流 |