基本信息:
- 专利标题： 柔性化多功能真空镀膜设备及其智能控制系统
- 申请号：CN201310554829.1 申请日：2013-11-10
- 公开(公告)号：CN103643204B 公开(公告)日：2019-03-08
- 发明人： 董小虹 , 张中弦 , 刘志辉 , 黄拿灿 , 亚历山大·哥罗沃依
- 申请人： 广东世创金属科技股份有限公司
- 申请人地址： 广东省佛山市顺德区陈村镇石洲工业区
- 专利权人： 广东世创金属科技股份有限公司
- 当前专利权人： 广东世创金属科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省佛山市顺德区陈村镇石洲工业区
- 代理机构： 广州广信知识产权代理有限公司
- 代理人： 张文雄
- 主分类号： C23C14/22
- IPC分类号： C23C14/22 ; C23C14/54 ; C23C14/35 ; C23C14/46
摘要：
本发明涉及一种柔性化多功能真空镀膜设备及其智能控制系统，包括真空室，其特征在于：真空室由真空室腔体及真空室门构成，真空室为呈多边棱柱状或圆柱状的密封结构；在真空室设有一个或多个连接口，在真空室侧立面设有一个或多个矩形法兰孔；在矩形法兰孔处设有易装拆式矩形法兰板，矩形法兰板中设有靶座连接孔，构成柔性化的连接机构；在靶座连接孔处设有挡板装置，通过靶座连接孔装配不同形式靶座，在矩形法兰板上形成具有多种不同形式易装拆式靶座的连接机构，形成具有不同功能的模块装置；由若干个模块化装置，构成模块化多功能镀膜设备，实现设备柔性化的配置。本发明通过不同靶材的组合及智能控制系统，实现多元复合涂层、纳米涂层等工艺，具有提高涂层性能的有益效果。
公开/授权文献:
- CN103643204A 柔性化多功能真空镀膜设备及其智能控制系统 公开/授权日：2014-03-19