基本信息:
- 专利标题： 过孔的检测方法和检测装置
- 专利标题（英）：Detection method and device for through hole
- 申请号：CN201310421903.2 申请日：2013-09-16
- 公开(公告)号：CN103471505A 公开(公告)日：2013-12-25
- 发明人： 王守坤 , 郭会斌 , 刘晓伟 , 郭总杰
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方显示技术有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理人： 彭瑞欣; 陈源
- 主分类号： G01B11/00
- IPC分类号： G01B11/00 ; G01B11/26 ; G01B11/30
The invention discloses a detection method and device for a through hole, and the through hole is formed in a film layer. The detection method includes the steps that incident light is emitted to the inner wall of the through hole; first reflected light reflected by the inner wall and second reflected light reflected by the lower bottom surface of the film layer are received; an interference pattern is formed according to the first reflected light and the second reflected light; and parameters of the inner wall of the through hole are detected according to the interference pattern. The detection method achieves real-time detection on the through hole based on the light interference principle, and more importantly, the detection method does not need to destroy a product to be detected and therefore effectively saves economic cost.
公开/授权文献:
- CN103471505B 过孔的检测方法和检测装置 公开/授权日：2016-04-13
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |