基本信息:
- 专利标题： 在可变电抗电路中使用BJT开关的阻抗匹配网络
- 申请号：CN201280014097.0 申请日：2012-01-12
- 公开(公告)号：CN103444078B 公开(公告)日：2016-05-25
- 发明人： G·范齐尔 , G·G·古罗夫
- 申请人： 先进能源工业公司
- 申请人地址： 美国科罗拉多州
- 专利权人： 先进能源工业公司
- 当前专利权人： 先进工程解决方案全球控股私人有限公司
- 当前专利权人地址： 美国科罗拉多州
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理人： 陈松涛; 夏青
- 优先权： 13/010,647 2011.01.20 US
- 国际申请： PCT/US2012/021114 2012.01.12
- 国际公布： WO2012/099774 EN 2012.07.26
- 进入国家日期： 2013-09-18
- 主分类号： H03H7/40
- IPC分类号： H03H7/40 ; H03H11/30 ; H01L21/3065 ; H05H1/46
This disclosure describes systems, methods, and apparatuses for impedance-matching radio frequency power transmitted from a radio frequency generator to a plasma load in a semiconductor processing chamber. Impedance-matching can be performed via a match network having a variable-reactance circuit. The variable-reactance circuit can comprise one or more reactive elements all connected to a first terminal and selectively shorted to a second terminal via a switch. The switch can comprise a bipolar junction transistor (BJT) or insulated gate bipolar transistor (IGBT) controlled via bias circuitry. In an on-state, the BJT base-emitter junction is forward biased, and AC is conducted between a collector terminal and a base terminal. Thus, AC passes through the BJT primarily from collector to base rather than from collector to emitter. Furthermore, the classic match network topology used with vacuum variable capacitors can be modified such that voltages do not overload the BJT's in the modified topology.
公开/授权文献:
- CN103444078A 在可变电抗电路中使用BJT开关的阻抗匹配网络 公开/授权日：2013-12-11
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H7/00 | 仅以无源电气元件作为网络部件的多端对网络 |
| --------H03H7/01 | .频率选择二端对网络 |
| ----------H03H7/40 | ..负荷阻抗对信号源阻抗的自动匹配 |