基本信息:
- 专利标题： 静电透镜的电极及其制造方法
- 专利标题（英）：Electrode of electrostatic lens and method of manufacturing the same
- 申请号：CN201310176238.5 申请日：2013-05-14
- 公开(公告)号：CN103426708A 公开(公告)日：2013-12-04
- 发明人： 山田修嗣
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 李颖
- 优先权： 2012-113097 2012.05.17 JP
- 主分类号： H01J37/12
- IPC分类号： H01J37/12 ; H01J37/317 ; H01J9/00
摘要：
本发明涉及静电透镜的电极及其制造方法。提供一种用于静电透镜的电极，其中，该电极至少包含：具有第一贯通孔的第一基板和具有第二贯通孔的第二基板；第一基板具有比第二基板小的厚度；第一贯通孔具有比第二贯通孔小的直径，第二基板具有比第一基板小的电阻率，其中，第一基板和第二基板被叠置，使得第一贯通孔和第二贯通孔相互对准。可以减少在干蚀刻处理中在贯通孔中的任一个附近出现的开槽，由此可以精确地形成贯通孔。
摘要（英）：
An electrode to be used for an electrostatic lens, wherein the electrode at least includes: a first substrate having a first through-hole and a second substrate having a second through-hole; the first substrate having a thickness smaller than the second substrate; the first through-hole having a diameter smaller than the second through-hole; the second substrate having a specific resistance smaller than the first substrate, wherein the first substrate and the second substrate are superimposed so that the first through-hole and the second through-hole are aligned relative to each other. Notching taking place near any of the through-holes in a dry etching process can be reduced, and thus, the through-holes can be formed accurately.