基本信息:
- 专利标题： 对准装置、工件承载设备以及对准方法
- 申请号：CN201280012699.2 申请日：2012-03-09
- 公开(公告)号：CN103415919B 公开(公告)日：2016-09-07
- 发明人： 麦考林·N·丹尼尔 , 威廉·T·维弗 , 查理斯·T·卡尔森
- 申请人： 瓦里安半导体设备公司
- 申请人地址： 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
- 专利权人： 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人： 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人地址： 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 臧建明
- 优先权： 61/451,872 2011.03.11 US; 13/415,411 2012.03.08 US
- 国际申请： PCT/US2012/028479 2012.03.09
- 国际公布： WO2012/125455 EN 2012.09.20
- 进入国家日期： 2013-09-10
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/68
摘要：
一种对准装置、工件承载设备以及对准方法。所述对准装置具有支架；支架上的二轨条，经组态以使工件通过轨条之间；以及指状物，由支架突出一段距离。指状物经组态以配置于用于工件的载具上。工件可以是太阳能电池且可在输送带上通过所述轨条。当工件承载至载具中时，工件对准装置可移动以将工件对准。
公开/授权文献:
- CN103415919A 工件对准装置 公开/授权日：2013-11-27