基本信息:
- 专利标题： 处理液用流量计
- 专利标题（英）：Treatment liquid flow rate meter
- 申请号：CN201280011309.X 申请日：2012-02-15
- 公开(公告)号：CN103403503A 公开(公告)日：2013-11-20
- 发明人： 佐藤尊三 , 安藤了至 , 内村幸治
- 申请人： 东京毅力科创株式会社 , 株式会社堀场先进技术
- 申请人地址： 日本东京港区赤坂五丁目3番1号
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社,株式会社堀场先进技术
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社,株式会社堀场先进技术
- 当前专利权人地址： 日本东京港区赤坂五丁目3番1号
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 臧建明
- 优先权： 2011-052228 2011.03.09 JP
- 国际申请： PCT/JP2012/053576 2012.02.15
- 国际公布： WO2012/120984 JA 2012.09.13
- 进入国家日期： 2013-09-02
- 主分类号： G01F1/66
- IPC分类号： G01F1/66 ; G01N29/02 ; H01L21/027
Provided is a treatment liquid flow rate meter which is provided with a variety of functions and is easy to use, specifically a treatment liquid flow rate meter which measures the flow rate of treatment liquid flowing through a supply pipe (200) and comprises: a pair of ultrasonic vibrators (2, 3) arranged separated by a fixed distance in the direction of flow of the supply pipe (200); a flow rate calculation section (4) for calculating the flow rate of the treatment liquid based on a first arrival time (T1), which is the time an ultrasonic wave emitted from the first ultrasonic vibrator (2) arrives at the second ultrasonic vibrator (3), and a second arrival time (T2), which is the time an ultrasonic wave emitted from the second ultrasonic vibrator (3) arrives at the first ultrasonic vibrator (2); and a bubble ingress determination section (5) for determining whether or not bubbles are mixed in with the treatment liquid, based on the amount of temporal change in the calculated treatment liquid flow rate.
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01F | 容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量 |
| ------G01F1/00 | 测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量 |
| --------G01F1/66 | .通过测量电磁波或其他波的频率、相位移或传播时间，例如，超声波流量计 |