基本信息:
- 专利标题： 分光传感器的制造方法
- 专利标题（英）：Method for producing spectroscopic sensor
- 申请号：CN201180056110.4 申请日：2011-09-21
- 公开(公告)号：CN103229029B 公开(公告)日：2015-01-21
- 发明人： 柴山胜己 , 高坂正臣
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本静冈县
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本静冈县
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理人： 杨琦
- 优先权： 2010-260440 2010.11.22 JP
- 国际申请： PCT/JP2011/071535 2011.09.21
- 国际公布： WO2012/070301 JA 2012.05.31
- 进入国家日期： 2013-05-22
- 主分类号： G01J3/26
- IPC分类号： G01J3/26 ; G01J1/04 ; G01J3/36 ; G02B5/20
摘要：
分光传感器（1）的制造方法具备：在处理基板上通过纳米印刷法形成腔体层（21）的第1工序；在第1工序后，在腔体层（21）上形成第1镜面层（22）的第2工序；在第2工序后，在第1镜面层（22）上接合光透过基板（3）的第3工序；在第3工序后，从腔体层（21）除去处理基板的第4工序；在第4工序后，在除去了处理基板的腔体层（21）上形成第2镜面层（23）的第5工序；以及在第5工序后，在第2镜面层（23）上接合光检测基板（4）的第6工序。
公开/授权文献:
- CN103229029A 分光传感器的制造方法 公开/授权日：2013-07-31
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01J | 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法 |
| ------G01J3/00 | 光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色 |
| --------G01J3/02 | .零部件 |
| ----------G01J3/26 | ..应用多次反射，例如，法布里—珀罗干涉仪，可变干涉滤光器 |