基本信息:
- 专利标题： 微机电系统（MEMS）电容式欧姆开关和设计结构
- 申请号：CN201310002115.X 申请日：2013-01-04
- 公开(公告)号：CN103186693B 公开(公告)日：2017-01-11
- 发明人： 丁汉屹 , 刘奇志 , A·K·斯坦珀
- 申请人： 国际商业机器公司
- 申请人地址： 美国纽约
- 专利权人： 国际商业机器公司
- 当前专利权人： 格芯美国第二有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国纽约
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理人： 于静; 张亚非
- 优先权： 13/342,689 2012.01.03 US
- 主分类号： G06F17/50
- IPC分类号： G06F17/50
摘要：
本发明提供了一种微机电系统（MEMS）、形成该MEMS的方法以及设计结构。所述方法包括在基底上形成共面波导（CPW），所述CPW包括信号电极和电极对。所述方法包括在所述CPW之上形成第一牺牲材料，且在所述第一牺牲材料之上以及所述CPW上方形成布线层。所述方法包括在所述布线层之上形成第二牺牲材料，且在所述第一牺牲材料和所述第二牺牲材料附近形成绝缘体材料。所述方法包括在所述绝缘体材料中形成至少一个通气孔以暴露部分所述第二牺牲材料，且通过所述通气孔去除所述第一和第二牺牲材料以在所述布线层附近形成腔结构，所述腔结构暴露位于所述布线层下方的所述信号线和所述电极对。用密封材料密封所述通气孔。
公开/授权文献:
- CN103186693A 微机电系统（MEMS）电容式欧姆开关和设计结构 公开/授权日：2013-07-03