基本信息:
- 专利标题： 一种微透镜的制作方法
- 申请号：CN201310091860.6 申请日：2013-03-21
- 公开(公告)号：CN103178161B 公开(公告)日：2016-04-20
- 发明人： 岳爱文 , 胡艳 , 李晶 , 王权兵
- 申请人： 武汉电信器件有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 专利权人： 武汉电信器件有限公司
- 当前专利权人： 武汉电信器件有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 代理机构： 北京汇泽知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘淑敏
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; G02B3/00
摘要：
本发明公开了一种微透镜的制作方法，包括：A、将晶片（1）表面涂上光敏性的苯并环丁烯BCB涂层（2），并置于氮气中，在大于摄氏100℃的条件下加热，使所述BCB涂层（2）软固化；B、然后采用光刻法在所述晶片（1）表面制作柱状BCB（3）；C、对所述柱状BCB（3）进行热固化处理，将所述柱状BCB（3）融化成球状形成BCB透镜（4）。采用本发明的方法，能够简化传统微透镜制作方法中的复杂加工工艺，并降低制作成本。
公开/授权文献:
- CN103178161A 一种微透镜的制作方法 公开/授权日：2013-06-26