基本信息:
- 专利标题： 带电粒子探测系统和多小波束检查系统
- 专利标题（英）：Charged particle detection system and multi-beamlet inspection system
- 申请号：CN201180028500.0 申请日：2011-03-31
- 公开(公告)号：CN103069536A 公开(公告)日：2013-04-24
- 发明人： R.尼佩尔迈耶
- 申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
- 申请人地址： 德国上科亨
- 专利权人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司,以色列实用材料有限公司
- 当前专利权人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司,以色列实用材料有限公司
- 当前专利权人地址： 德国上科亨
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理人： 邱军
- 优先权： 61/342,256 2010.04.09 US
- 国际申请： PCT/EP2011/001639 2011.03.31
- 国际公布： WO2011/124352 EN 2011.10.13
- 进入国家日期： 2012-12-10
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244 ; H01J37/09
摘要：
一种带电粒子探测系统，其包含多个探测元件和接近探测元件的多孔径板。带电粒子小波束可穿过多孔径板的孔径，以入射到探测元件上。可提供多于一个的多孔径板，以形成接近探测器的多孔径板的板组。提供给多孔径板的合适电势可具有对于穿过板的孔径的多个带电粒子小波束的能量过滤特性。
摘要（英）：
A charged particle detection system comprises plural detection elements and a multi-aperture plate in proximity of the detection elements. Charged particle beamlets can traverse the apertures of the multi-aperture plate to be incident on the detection elements. More than one multi-aperture plate can be provided to form a stack of multi-aperture plates in proximity of the detector. A suitable electric potential supplied to the multi-aperture plate can have an energy filtering property for the plural charged particle beamlets traversing the apertures of the plate.
公开/授权文献:
- CN103069536B 带电粒子探测系统和多小波束检查系统 公开/授权日：2016-04-06
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/244 | ..检测器；所采用的组件或电路 |