
基本信息:
- 专利标题: 一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法
- 专利标题(英):VC/Co toughening coating layer with nanometer multilayer structure and preparation method thereof
- 申请号:CN201210575224.6 申请日:2012-12-26
- 公开(公告)号:CN103042753B 公开(公告)日:2015-06-24
- 发明人: 黄峰 , 张晓娟 , 李艳玲
- 申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 申请人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 专利权人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 代理机构: 杭州天勤知识产权代理有限公司
- 代理人: 刘诚午
- 主分类号: B32B9/04
- IPC分类号: B32B9/04 ; B32B15/04 ; C23C14/14 ; C23C14/06 ; C23C14/34 ; B82Y40/00 ; B82Y30/00
摘要:
本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层,由VC层和Co层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Co增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Co靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Co增韧涂层在保持涂层具有较高的硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。
公开/授权文献:
- CN103042753A 一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法 公开/授权日:2013-04-17
IPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B32 | 层状产品 |
----B32B | 层状产品,即由扁平的或非扁平的薄层,例如泡沫状的、蜂窝状的薄层构成的产品 |
------B32B9/00 | 实质上由不包含在组B32B11/00至B32B29/00的特殊物质组成的层状产品 |
--------B32B9/04 | .由这类物质组成作为薄层的主要的或惟一的成分,它与另一层由一种特定物质构成的薄层相贴 |