专利号CN201080027935.9 | 透明导电膜

摘要：

一种透明导电膜，其为含In2O3结晶的铟锌氧化物膜，在2θ＝35.5°～37.0°，39.0°～40.5°以及66.5°～67.8°中的任意1个以上具有Cukα射线的X射线衍射峰，在2θ＝30.2°～30.8°以及54.0°～57.0°上具有的峰的峰强度分别为主峰的峰强度的20％以下。

C	化学；冶金
--C23	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆（纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（作特殊应用者，见有关位置，例如用于电阻器制造入H01C17/06）；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
----C23C	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
------C23C14/00	通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
--------C23C14/06	.以镀层材料为特征的
----------C23C14/08	..氧化物

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