基本信息:
- 专利标题： 蒸气输送装置及其制造和使用方法
- 专利标题（英）：Vapor delivery device, methods of manufacture and methods of use thereof
- 申请号：CN201210164827.7 申请日：2012-05-23
- 公开(公告)号：CN102794136A 公开(公告)日：2012-11-28
- 发明人： E·沃克 , R·L·小迪卡洛
- 申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 罗门哈斯电子材料有限公司
- 当前专利权人： 罗门哈斯电子材料有限公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人： 江磊
- 优先权： 13/114,794 2011.05.24 US
- 主分类号： B01J4/00
- IPC分类号： B01J4/00
摘要：
一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括固体前体化合物的输送装置。所述载气的第一物流的温度等于或高于20℃。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流和第二物流合并，形成第三物流，使得第三物流中的所述固体前体化合物的蒸气的露点低于常温。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
摘要（英）：
A method comprises transporting a first stream of a carrier gas to a delivery device that contains a solid precursor compound. The first stream of carrier gas is at a temperature greater than or equal to 20 DEG C. The method further comprises transporting a second stream of the carrier gas to a point downstream of the delivery device. The first stream and the second stream are combined to form a third stream, such that the dewpoint of the vapor of the solid precursor compound in the third stream is lower than the ambient temperature. The flow direction of the first stream, the flow direction of the second stream and the flow direction of the third stream are unidirectional and are not opposed to each other.
公开/授权文献:
- CN102794136B 蒸气输送装置及其制造和使用方法 公开/授权日：2014-10-15
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B01 | 一般的物理或化学的方法或装置 |
| ----B01J | 化学或物理方法，例如，催化作用、胶体化学；其有关设备 |
| ------B01J4/00 | 进料装置；进料与出口调节装置 |