基本信息:
- 专利标题： 光照射装置、光照射方法和液晶面板的制造方法
- 专利标题（英）：Light irradiation device, light irradiation method and liquid crystal panel manufacturing method
- 申请号：CN201080061375.9 申请日：2010-12-27
- 公开(公告)号：CN102713760A 公开(公告)日：2012-10-03
- 发明人： 石野健太
- 申请人： 夏普株式会社
- 申请人地址： 日本大阪府
- 专利权人： 夏普株式会社
- 当前专利权人： 夏普株式会社
- 当前专利权人地址： 日本大阪府
- 代理机构： 北京市隆安律师事务所
- 代理人： 权鲜枝
- 优先权： 2010-012489 2010.01.22 JP
- 国际申请： PCT/JP2010/073548 2010.12.27
- 国际公布： WO2011/089828 JA 2011.07.28
- 进入国家日期： 2012-07-12
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G02F1/1339 ; G09F9/00 ; G09F9/30 ; H01L21/027
摘要：
本发明提供能够抑制掩模和载置台之间具有过多余量的光照射装置。光照射装置(100)隔着掩模(30)对基板(10)照射光，具备：吸附管(40)，其保持掩模(30)；以及载置台(20)，其载置基板(10)。吸附管(40)相对于掩模(30)的平面二维地排列，在载置台(20)上配置有测定基板(10)和掩模(30)之间的距离的光学式变位计(25)。并且，光学式变位计(25)配置于测定掩模(30)的中央区域中的至少2点的位置。
摘要（英）：
Disclosed is a light irradiation device by which excessive margins between a mask and a stage can be suppressed. The light irradiation device (100) irradiates light through a mask (30) onto a substrate (10), and is provided with suction tubes (40) to hold the mask (30) and a stage (20) on which the substrate (10) is mounted. The suction tubes (40) are arranged in two dimensions against the surface of the mask (30) in rows, and optical displacement sensors (25), which measure the distance between the substrate (10) and the mask (30), are arranged on the stage (20). Further, the optical displacement sensors (25) are located in positions at which said sensors measure at least two points in the central region (31) of the mask (30).