基本信息:
- 专利标题： 测量光学表面形状的方法以及干涉测量装置
- 专利标题（英）：Method of measuring a shape of an optical surface and interferometric measuring device
- 申请号：CN200980162499.3 申请日：2009-09-18
- 公开(公告)号：CN102686972B 公开(公告)日：2015-04-08
- 发明人： R.弗赖曼 , B.多尔班德 , S.舒尔特 , A.霍夫 , F.里彭豪森 , M.曼格 , D.纽格鲍尔 , H.艾斯勒 , A.比科
- 申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 申请人地址： 德国上科亨
- 专利权人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人地址： 德国上科亨
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理人： 邱军
- 国际申请： PCT/EP2009/006754 2009.09.18
- 国际公布： WO2011/032572 EN 2011.03.24
- 进入国家日期： 2012-05-18
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02 ; G01B11/24 ; G02B26/06 ; G01M11/02
摘要：
提供一种测量测试物体（12）的光学表面（14）的形状的方法。该方法包括以下步骤：提供产生测量波（18）的干涉测量装置（16），在不同测量位置处相对于彼此连贯地布置该干涉测量装置（16）和测试物体（12），从而由该测量波（18）照明该光学表面（14）的不同区域（20），在该不同测量位置，测量该测量装置（16）关于该测试物体（12）的位置坐标，通过在每个测量位置处使用测量装置（16）干涉地测量该测量波（18）在与该光学表面（14）的各个区域（20）相互作用之后的波前而获得表面区域测量，通过基于该干涉测量装置（16）在每个测量位置处所测量的位置坐标计算地组合子表面测量而确定该光学表面（14）的实际形状。
公开/授权文献:
- CN102686972A 测量光学表面形状的方法以及干涉测量装置 公开/授权日：2012-09-19
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B9/00 | 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器 |
| --------G01B9/02 | .干涉仪 |