基本信息:
- 专利标题： 用于制备立方氧化锆层的方法
- 申请号：CN201080053523.2 申请日：2010-09-24
- 公开(公告)号：CN102666908B 公开(公告)日：2020-07-21
- 发明人： J.拉姆 , B.维德里希
- 申请人： 欧瑞康表面解决方案股份公司 , 普费菲孔
- 申请人地址： 瑞士普费菲孔
- 专利权人： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
- 当前专利权人： 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
- 当前专利权人地址： 瑞士普费菲孔
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 石克虎; 林森
- 优先权： 61/245750 2009.09.25 US
- 国际申请： PCT/EP2010/064136 2010.09.24
- 国际公布： WO2011/036246 DE 2011.03.31
- 进入国家日期： 2012-05-25
- 主分类号： C23C14/00
- IPC分类号： C23C14/00 ; C23C14/06 ; C23C14/08 ; C23C14/32
摘要：
为了在沉积基材上产生基于氧化锆的层，使用了包含单质锆石和至少一种稳定剂的混合靶，或者使用由元素锆组成的锆靶，在该方法中使用了反应性火花蒸发，该火花蒸发使用脉冲的火花电流和/或施加了垂直于火花靶的磁场，其中除了氧气之外，将氮气用作反应性气体。作为选项，与混合靶使用相结合，除了氧气之外，氮气也可以用作反应性气体。
公开/授权文献:
- CN102666908A 用于制备立方氧化锆层的方法 公开/授权日：2012-09-12