基本信息:
- 专利标题： 可聚合光产酸剂
- 专利标题（英）：Polymerizable photoacid generators
- 申请号：CN201110463334.9 申请日：2011-12-31
- 公开(公告)号：CN102603579A 公开(公告)日：2012-07-25
- 发明人： J·W·撒克里 , S·M·科利 , V·简恩 , O·昂格伊 , J·F·卡梅伦 , P·J·拉博姆 , A·E·麦德考尔
- 申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司 , 陶氏环球技术有限公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 罗门哈斯电子材料有限公司,陶氏环球技术有限公司
- 当前专利权人： 罗门哈斯电子材料有限公司,陶氏环球技术有限公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理人： 陈哲锋
- 优先权： 61/429,009 2010.12.31 US
- 主分类号： C07C309/42
- IPC分类号： C07C309/42 ; C07C309/12 ; C07C303/32 ; C07C381/12 ; C07C25/02 ; C07D333/76 ; C08F220/38 ; C08F220/18 ; C08F220/30 ; C08F220/28 ; C08F212/32 ; G03F7/004
The invention provides a polymerizable photoacid generator. A compound has formula (I): Q-O-(A)-Z-G+ (I), wherein Q is a halogenated or non-halogenated, C2-30 olefin-containing group, A is a fluorine-substituted C1-30 alkylene group, a fluorine-substituted C3-30 cycloalkylene group, a fluorine-substituted C6-30 arylene group, or a fluorine-substituted C7-30 alkylene-arylene group, Z is an anionic group comprising sulfonate, sulfonamide, or sulfonamide, and G+ has a formula (II) shown in the description: wherein X is S or I, each R 0 is halogenated or non-halogenated and is independently C1-30 alkyl group; a polycyclic or monocyclic C3-30 cycloalkyl group; a polycyclic or monocyclic C 4-30 aryl group; or a combination of these, wherein when X is S, one of the R 0 groups is optionally attached to one adjacent R 0 group by a single bond, and a is 2 or 3, wherein when X is I, a is 2, or when X is S, a is 3. A copolymer, a photoresist, a coated substrate and method of patterning are disclosed.
公开/授权文献:
- CN102603579B 可聚合光产酸剂 公开/授权日：2014-12-31
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C07 | 有机化学 |
| ----C07C | 无环或碳环化合物 |
| ------C07C309/00 | 磺酸；其卤化物、酯或酐 |
| --------C07C309/01 | .磺酸 |
| ----------C07C309/02 | ..含有连接非环碳原子的磺基 |
| ------------C07C309/41 | ...含有连接碳架的单键氧原子 |
| --------------C07C309/42 | ....含有连接非稠合六元芳环碳原子的磺基 |