![压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架](/CN/2011/1/92/images/201110460191.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架
- 专利标题(英):Method of manufacturing piezoelectric element, piezoelectric element, piezoelectric actuator, and head suspension
- 申请号:CN201110460191.6 申请日:2011-12-31
- 公开(公告)号:CN102593346B 公开(公告)日:2015-03-25
- 发明人: 野岛晃
- 申请人: 日本发条株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 日本发条株式会社
- 当前专利权人: 日本发条株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理人: 曾贤伟; 杨继平
- 优先权: 2011-002507 2011.01.07 JP; 2011-262846 2011.11.30 JP
- 主分类号: H01L41/09
- IPC分类号: H01L41/09 ; H01L41/18 ; G11B5/48
摘要:
公开了压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架。该压电元件的制造方法能够在压电元件的外围端面上容易地且可靠地形成聚合物涂层而不降低压电元件的产出。该方法包括以下步骤:从基体压电材料板切割压电元件,由此形成外围端面来定义压电元件的外围形状;和通过气相沉积聚合分别在压电元件的外围端面的至少目标区域上形成聚合物涂层。
公开/授权文献:
- CN102593346A 压电元件的制造方法、压电元件、压电致动器和头悬架 公开/授权日:2012-07-18
IPC结构图谱:
H | 电学 |
--H04 | 电通信技术 |
----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
------H01L41/02 | .零部件 |
--------H01L41/09 | ..带有电输入与机械输出的 |