基本信息:
- 专利标题： 温度测量方法
- 专利标题（英）：Temperature measuring method
- 申请号：CN201110303076.8 申请日：2011-09-29
- 公开(公告)号：CN102445284B 公开(公告)日：2014-04-09
- 发明人： 舆水地盐 , 山涌纯 , 松土龙夫
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理人： 刘新宇; 张会华
- 优先权： 2010-222821 2010.09.30 JP
- 主分类号： G01K11/00
- IPC分类号： G01K11/00
摘要：
本发明提供一种温度测量方法。该温度测量方法即使在测量对象物上形成有薄膜的情况下，也能够比以往准确地对测量对象物的温度进行测量。其包括以下工序：将来自光源的光传送到在基板上形成有薄膜的测量对象物的测量点；对由基板的表面的反射光构成的第1干涉波、由基板与薄膜之间的界面的反射光、在薄膜的背面的反射光构成的第2干涉波进行测量；计算从第1干涉波到第2干涉波的光路长度；根据第2干涉波的强度计算薄膜的膜厚；根据算出的薄膜的膜厚计算基板的光路长度与算出的光路长度之间的光路差；根据算出的光路差校正算出的从第1干涉波到第2干涉波的光路长度；利用被校正的光路长度计算测量对象物的测量点处的温度。
公开/授权文献:
- CN102445284A 温度测量方法 公开/授权日：2012-05-09
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01K | 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件 |
| ------G01K11/00 | 不包括在G01K3/00，G01K5/00，G01K7/00或G01K9/00各组的以物理或化学变化为基础的温度测量 |