基本信息:
- 专利标题： 固定波长绝对距离干涉仪
- 申请号：CN201110318968.5 申请日：2011-08-11
- 公开(公告)号：CN102384716B 公开(公告)日：2016-02-03
- 发明人： D·W·塞思科 , J·D·托比亚森
- 申请人： 株式会社三丰
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 株式会社三丰
- 当前专利权人： 株式会社三丰
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理人： 邸万奎
- 优先权： 12/854,784 2010.08.11 US
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02
摘要：
一种固定波长绝对距离干涉仪包括第一干涉仪和第二干涉仪，所述第一干涉仪包括：第一光源，朝测量目标发射具有波长W的第一光束；波前半径检测器，被配置成提供响应于波前半径检测器处的波前半径的第一度量；以及第一路径长度计算部分，计算粗糙分辨率绝对路径长度度量R。第二干涉仪包括：发送具有波长Λ的第二干涉仪光束的光束发送装置；光束分离/合成装置，将第二干涉仪光束分离为参考和度量光束，并合成返回的参考和测量光束为合成光束；第二干涉仪检测器，被配置为接收合成光束和提供合成光束的相位的信号；以及第二路径长度计算部分，被配置为确定中等分辨率绝对路径长度度量ZM。
公开/授权文献:
- CN102384716A 固定波长绝对距离干涉仪 公开/授权日：2012-03-21
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B9/00 | 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器 |
| --------G01B9/02 | .干涉仪 |