基本信息:
- 专利标题： 测量装置
- 申请号：CN201110160053.6 申请日：2011-06-15
- 公开(公告)号：CN102288335A 公开(公告)日：2011-12-21
- 发明人： 谭瑞敏 , 刘汉诚 , 谢明哲 , 李暐 , 戴明吉
- 申请人： 财团法人工业技术研究院
- 申请人地址： 中国台湾新竹县
- 专利权人： 财团法人工业技术研究院
- 当前专利权人： 财团法人工业技术研究院
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹县
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理人： 陈小雯
- 优先权： 61/356,047 2010.06.18 US; 12/962,658 2010.12.08 US
- 主分类号： G01L1/18
- IPC分类号： G01L1/18 ; G01B7/16
摘要：
本发明公开一种测量装置，其包括一第一芯片、一第一线路层、一第一加热元件、一第一应力感测器以及一第二线路层。第一芯片具有一第一导通孔及相对的一第一表面与一第二表面。第一线路层配置于第一表面。第一加热元件配置于第一表面并电连接第一线路层。第一应力感测器配置于第一表面并电连接第一线路层。第二线路层配置于第二表面。
摘要（英）：
The present invention discloses a measuring apparatus. A measuring apparatus including a first chip, a first circuit layer, a first heater, a first stress sensor and a second circuit layer is provided. The first chip has a first through silicon via, a first surface and a second surface opposite to the first surface. The first circuit layer is disposed on the first surface. The first heater and the first stress sensor are disposed on the first surface and connected to the first circuit layer. The second circuit layer is disposed on the second surface.
公开/授权文献:
- CN102288335B 测量装置 公开/授权日：2014-04-23
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01L | 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力 |
| ------G01L1/00 | 力或应力的一般计量 |
| --------G01L1/18 | .应用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质 |