基本信息:
- 专利标题： 掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法
- 专利标题（英）：Titania-doped quartz glass and making method
- 申请号：CN201010625211.6 申请日：2010-12-24
- 公开(公告)号：CN102180595A 公开(公告)日：2011-09-14
- 发明人： 毎田繁 , 大塚久利 , 上田哲司 , 江崎正信
- 申请人： 信越化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人： 李帆
- 优先权： 2009-294557 2009.12.25 JP
- 主分类号： C03C3/06
- IPC分类号： C03C3/06 ; C03C3/076 ; G03F7/20
摘要：
本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。
摘要（英）：
The invention relates to a titania-doped quartz glass and a making method thereof. A titania-doped quartz glass which experiences a reduction in OH group concentration of less than or equal to 100 ppm upon heat treatment at 900 DEG C for 100 hours is suitable as the EUV lithography member.
公开/授权文献:
- CN102180595B 掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法 公开/授权日：2016-03-09