基本信息:
- 专利标题： 制造印板的方法和通过使用该方法来形成薄膜图案的方法
- 专利标题（英）：Method for fabricating cliche and method for forming thin film pattern by using the same
- 申请号：CN201010278520.0 申请日：2010-09-09
- 公开(公告)号：CN102087472B 公开(公告)日：2013-09-04
- 发明人： 鞠允镐 , 金喆镐 , 丁相哲 , 李政训 , 金南国 , 梁准咏
- 申请人： 乐金显示有限公司
- 申请人地址： 韩国首尔
- 专利权人： 乐金显示有限公司
- 当前专利权人： 乐金显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国首尔
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 李辉; 赵芳
- 优先权： 10-2009-0120473 2009.12.07 KR
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; B41N1/00
摘要：
制造印板的方法和通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。本发明的目的是提供用于制造可以防止形成有缺陷的薄膜图案的印板的方法，以及通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。制造印板的方法包括以下步骤：提供具有第一区域和第二区域的底基板；在第一区域处形成具有第一深度和第一宽度的第一凹入图案并在第二区域处形成具有比第一宽度更宽的第二宽度和与第一深度相同的深度的第二凹入图案；形成用于暴露第二区域并覆盖第一区域的保护膜，所述保护膜具有粘附性；通过使用具有粘附性的保护膜，将所述第二凹入图案形成为具有比在所述第一区域处的所述第一凹入图案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保护膜。
公开/授权文献:
- CN102087472A 制造印板的方法和通过使用该方法来形成薄膜图案的方法 公开/授权日：2011-06-08