![抗反射涂层组合物](/CN/2009/8/24/images/200980120871.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 抗反射涂层组合物
- 专利标题(英):Antirelective coating compositions
- 申请号:CN200980120871.4 申请日:2009-04-29
- 公开(公告)号:CN102056954A 公开(公告)日:2011-05-11
- 发明人: 姚晖蓉 , 林观阳 , 殷建 , 吴恒鹏 , M·尼瑟 , R·R·达莫尔
- 申请人: AZ电子材料美国公司
- 申请人地址: 美国新泽西
- 专利权人: AZ电子材料美国公司
- 当前专利权人: 默克专利有限公司
- 当前专利权人地址: 美国新泽西
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理人: 宓霞
- 优先权: 12/133,567 2008.07.08 US
- 国际申请: PCT/IB2009/005486 2009.04.29
- 国际公布: WO2010/004378 EN 2010.01.14
- 进入国家日期: 2010-12-03
- 主分类号: C08G18/00
- IPC分类号: C08G18/00 ; C08L61/00 ; C09D161/00 ; C09D161/32 ; C09D167/00 ; G03F7/00 ; G03F7/004 ; G03F7/09 ; H01L21/00
摘要:
本发明公开了抗反射涂层和有关的聚合物。
摘要(英):
Antireflective coatings and related polymers are disclosed.
公开/授权文献:
- CN102056954B 抗反射涂层组合物 公开/授权日:2013-07-03
IPC结构图谱:
C | 化学;冶金 |
--C08 | 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物 |
----C08G | 用碳—碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物 |
------C08G18/00 | 异氰酸酯类或异硫氰酸酯类的聚合产物 |