基本信息:
- 专利标题： 加热单元和具有加热单元的基板处理装置
- 申请号：CN201010285202.7 申请日：2010-09-15
- 公开(公告)号：CN102051596B 公开(公告)日：2016-06-29
- 发明人： 洪钟元 , 郑珉在 , 罗兴烈 , 姜有珍 , 张锡洛
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理人： 罗正云; 王琦
- 优先权： 10-2009-0107175 2009.11.06 KR
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; C23C16/455 ; H01L21/00
摘要：
本发明涉及加热单元和具有加热单元的基板处理装置。该基板处理装置包括加热单元，该加热单元对处理多个基板的处理室进行加热，并且在所述处理之后快速冷却所述处理室。所述加热单元包括：具有进气口和排气口的主体；位于所述主体内部的一个或多个加热器；连接至所述主体的进气口的冷却器；连接至所述主体的排气口的排气泵；以及控制所述冷却器的控制器。所述基板处理装置包括：船形体，多个基板被堆叠在该船形体中；提供处理所述基板的空间的处理室；将所述船形体送入或送出所述处理室的传送单元；以及位于所述处理室外部的所述加热单元。
公开/授权文献:
- CN102051596A 加热单元和具有加热单元的基板处理装置 公开/授权日：2011-05-11