基本信息:
- 专利标题： 薄膜沉积设备和制造有机发光显示设备的方法
- 专利标题（英）：Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
- 申请号：CN201010266406.6 申请日：2010-08-27
- 公开(公告)号：CN102005541B 公开(公告)日：2013-08-14
- 发明人： 赵昌睦 , 金钟宪 , 崔镕燮 , 金相洙 , 姜熙哲 , 崔永默
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理人： 韩明星; 李娜娜
- 优先权： 10-2009-0079765 2009.08.27 KR; 10-2010-0011480 2010.02.08 KR
- 主分类号： H01L51/56
- IPC分类号： H01L51/56 ; H01L27/32 ; H01L21/82
摘要：
本发明公开了一种用来大规模地制造大基底并能够具有高清晰度图案化的薄膜沉积设备和一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示设备的方法，所述薄膜沉积设备包括：装载单元，将基底固定到静电吸盘上；沉积单元，包括保持在真空状态的室和设置在室中的薄膜沉积组件，用来将薄膜沉积在固定于静电吸盘上的基底上，薄膜沉积组件与基底分开预定的距离；卸载单元，将完成了沉积工艺的基底与静电吸盘分离；第一循环单元，将固定有基底的静电吸盘顺序地移动到装载单元、沉积单元和卸载单元；第二循环单元，将与基底分离的静电吸盘从卸载单元返回到装载单元，其中，第一循环单元在穿过沉积单元时穿过室。
公开/授权文献:
- CN102005541A 薄膜沉积设备和制造有机发光显示设备的方法 公开/授权日：2011-04-06