基本信息:
- 专利标题： 用于探测对象中的缺陷的方法和装置
- 专利标题（英）：Method and device for the detection of defects in an object
- 申请号：CN201010262848.3 申请日：2010-08-26
- 公开(公告)号：CN102004107A 公开(公告)日：2011-04-06
- 发明人： 马克·赫姆森道夫 , 克里斯蒂安·普罗布斯特
- 申请人： GP检验有限公司
- 申请人地址： 德国普拉尼格市
- 专利权人： GP检验有限公司
- 当前专利权人： GP检验有限公司
- 当前专利权人地址： 德国普拉尼格市
- 代理机构： 北京金恒联合知识产权代理事务所
- 代理人： 李强
- 优先权： 102009039685.3 2009.09.02 DE
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88
摘要：
一种用于探测对象(20)中的缺陷(22)的方法，所述方法包括下列步骤：通过入射具有某一波长的光(50)，对所述对象(20)进行局部照射(步骤10)，所述对象(20)对于所述波长是可透过的；在至少部分地避免探测所述入射光的直接透射部分(48)且至少部分地避免探测所述入射光(50)的一次反射部分(53a、53b)的情况下，探测所述入射光(50)的多次反射部分(步骤12)；以及，通过分析所述入射光(50)的被探测到的部分中的强度差，识别缺陷(22)(步骤14)。本发明还涉及一种执行所述方法的装置。
摘要（英）：
Method for detecting defects (22) in an object (20) comprising the steps of locally illuminating (10) the object (20) by radiating in light (50) having a wavelength to which the object (20) is transparent, detecting (12) multiply reflected components of the incident light (50) whilst at least partly avoiding the detection of directly transmitted components (48) of the incident light and at least partly avoiding the detection of singly reflected components (53a, 53b) of the incident light (50), and identifying (14) defects (22) by evaluating intensity differences in the detected components of the incident light (50), and device for carrying out the method.
公开/授权文献:
- CN102004107B 用于探测对象中的缺陷的方法和装置 公开/授权日：2015-06-24
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |