基本信息:
- 专利标题： 薄膜太阳能电池制造装置
- 专利标题（英）：Thin film solar cell manufacturing equipment
- 申请号：CN200980112941.1 申请日：2009-06-03
- 公开(公告)号：CN101999159A 公开(公告)日：2011-03-30
- 发明人： 清水康男 , 小形英之 , 松本浩一 , 野口恭史 , 若森让治 , 冈山智彦 , 森冈和 , 杉山哲康 , 重田贵司 , 栗原広行 , 齐藤一也
- 申请人： 株式会社爱发科
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理人： 齐葵; 王诚华
- 优先权： 2008-149933 2008.06.06 JP
- 国际申请： PCT/JP2009/060154 2009.06.03
- 国际公布： WO2009/148081 JA 2009.12.10
- 进入国家日期： 2010-10-12
- 主分类号： H01L21/205
- IPC分类号： H01L21/205 ; C23C16/54 ; H01L31/04
摘要：
一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；第一托架，保持成膜处理前的基板；以及第二托架，保持成膜处理后的基板，所述放入取出室同时收容所述第一托架与所述第二托架。
摘要（英）：
Thin film solar cell manufacturing equipment comprises a vacuum exhausted film formation chamber for forming a film on a substrate by CVD, a stock/takeout chamber which is concatenated with the film formation chamber through a first open/close portion and can switch between atmospheric pressure and reduced pressure, a first carrier for holding a substrate before film formation thereon, and a second carrier for holding a substrate after film formation thereon, wherein the stock/takeout chamber contains the first and second carriers simultaneously.
公开/授权文献:
- CN101999159B 薄膜太阳能电池制造装置 公开/授权日：2012-10-10
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料 |
| --------------H01L21/20 | ....半导体材料在基片上的沉积，例如外延生长 |
| ----------------H01L21/205 | .....应用气态化合物的还原或分解产生固态凝结物的，即化学沉积 |