基本信息:
- 专利标题： 用于半导体测试的晶舟
- 专利标题（英）：Wafer boat for semiconductor testing
- 申请号：CN200880104189.1 申请日：2008-08-20
- 公开(公告)号：CN101808919A 公开(公告)日：2010-08-18
- 发明人： 阿杰伊·库什 , 杜恩坎·果尔蕾
- 申请人： 惠瑞捷(新加坡)私人有限公司
- 申请人地址： 新加坡新加坡市
- 专利权人： 惠瑞捷(新加坡)私人有限公司
- 当前专利权人： 爱德万测试(新加坡)私人有限公司
- 当前专利权人地址： 新加坡新加坡市
- 代理机构： 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 王安武; 南霆
- 优先权： 11/895,590 2007.08.24 US
- 国际申请： PCT/US2008/073744 2008.08.20
- 国际公布： WO2009/029455 EN 2009.03.05
- 进入国家日期： 2010-02-24
- 主分类号： B65G49/07
- IPC分类号： B65G49/07 ; H01L21/677
摘要：
根据本发明的一个实施例，为了在晶片置于晶片承载器中时测试晶片而提供了方法和设备。测试结果可以用于调整制作过程并且由此增加制作产量。
摘要（英）：
In accordance with one embodiment of the invention, a method and apparatus are provided for testing a wafer while the wafer is disposed in a wafer carrier. The test results can be utilized to adjust the manufacturing process and thereby increase processing yield.
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B65 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 |
| ----B65G | 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机 |
| ------B65G49/00 | 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 |
| --------B65G49/02 | .用于输送通过液浴的工件 |
| ----------B65G49/07 | ..用于半导体晶片的 |