基本信息:
- 专利标题： 处理装置及具有处理装置的洁净系统
- 专利标题（英）：Processing apparatus and clean system including processing apparatus
- 申请号：CN200880100051.4 申请日：2008-07-03
- 公开(公告)号：CN101779085A 公开(公告)日：2010-07-14
- 发明人： 平田贤辅
- 申请人： 株式会社IHI
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社IHI
- 当前专利权人： 株式会社IHI
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理人： 熊志诚
- 优先权： 2007-196459 2007.07.27 JP
- 国际申请： PCT/JP2008/062090 2008.07.03
- 国际公布： WO2009/016919 JA 2009.02.05
- 进入国家日期： 2010-01-22
- 主分类号： F24F7/06
- IPC分类号： F24F7/06 ; H01L21/67
摘要：
本发明涉及处理装置及具有处理装置的洁净系统。这种洁净系统，具有：具有围住腔室的天棚和地板面的房间；与所述腔室连通，净化所述腔室内的空气并供给洁净空气的送风装置；配置成可容纳所述洁净空气的装置主体；台；该台支撑所述装置主体，是从以下组中选择的任意台；即：构成为在与所述地板面之间气密地围住可通气的空间的台，以及气密地围住可通气的空间且可设置在所述地板面上的台；所述台具有：与所述空间连通的进风口，将已通过所述装置主体的所述洁净空气经由所述进风口导入到所述空间的吸引风扇；应连通所述空间和所述腔室、气密地结合所述台及所述天棚的回流管道。
摘要（英）：
A clean system is provided with a room, which has a ceiling surrounding a chamber and a floor; a blower, which communicates with the chamber, cleans the air in the chamber and supplies clean air; an apparatus main body arranged to receive the clean air; a table, which supports the apparatus main body, hermetically surrounds a space with the floor to be ventilated, and has an intake port which communicates with the space and a suction fan which introduces the clean air passed through the apparatus main body into the space through the intake port; and a circulation duct, which is hermetically connected to the table and the ceiling to permit the space to communicate with the chamber.
公开/授权文献:
- CN101779085B 处理装置及具有处理装置的洁净系统 公开/授权日：2012-10-03