基本信息:
- 专利标题： 具有成形轮廓的保持环
- 专利标题（英）：Retaining ring with shaped profile
- 申请号：CN200880025270.0 申请日：2008-07-18
- 公开(公告)号：CN101778697B 公开(公告)日：2012-10-31
- 发明人： 高帕拉克里什那·B·普拉霍 , 原茵 , 俊宏·欧 , 格雷戈里·E·曼克
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 赵飞; 南霆
- 优先权： 11/780,335 2007.07.19 US
- 国际申请： PCT/US2008/070463 2008.07.18
- 国际公布： WO2009/012444 EN 2009.01.22
- 进入国家日期： 2010-01-19
- 主分类号： B24B37/32
- IPC分类号： B24B37/32
摘要：
本发明公开一种具有弯曲或倒角表面的保持环。当保持环用于抛光处理时，弯曲表面可以避免对于固定磨蚀粒的抛光垫的损坏。弯曲或倒角表面位于环的底表面上，例如沿着外径与/或沿着形成在环的底部中的通道的侧壁。
摘要（英）：
Retaining rings with curved or chamfered surfaces are described. The curved surfaces prevent damage to a fixed abrasive polishing pad when the retaining ring is used in a polishing process. The curved or chamfered surfaces are on the bottom surface of the ring, such as along the outer diameter and/or along the sidewalls of channels formed in the bottom of the ring.
公开/授权文献:
- CN101778697A 具有成形轮廓的保持环 公开/授权日：2010-07-14
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 |
| ------B24B37/00 | 研磨机床或装置，即需要在相对软但仍为刚性的研具和被研磨表面之间加入粉末状磨料；及其附件 |
| --------B24B37/005 | .研磨机床或装置的控制装置 |
| ----------B24B37/30 | ..用于平面的单侧研磨 |
| ------------B24B37/32 | ...保持环 |