基本信息:
- 专利标题： 用于在生产过程期间产生晶片形元件的数字静止图片的方法及装置
- 专利标题（英）：Method and device for generating digital still pictures of wafer-shaped elements during a production process
- 申请号：CN200910173726.4 申请日：2009-09-10
- 公开(公告)号：CN101673784B 公开(公告)日：2013-09-25
- 发明人： 米夏埃多·斯特尔兹利
- 申请人： 史考特公司
- 申请人地址： 德国美茵茨
- 专利权人： 史考特公司
- 当前专利权人： 史考特公司
- 当前专利权人地址： 德国美茵茨
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 刘国伟
- 优先权： 102008046900.9 2008.09.11 DE
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; G01N21/892
摘要：
本发明提出一种用于在生产过程中产生晶片形元件的数字静止图片(EB)的方法及装置，所述元件可以是在生产过程期间在传送带(BD)上连续输送的晶片或太阳能电池(SZ)。所述装置包括相机，所述相机从所述晶片形元件(SZ)的截面拍摄图片，特定来说跨越输送方向逐行地连续拍摄数字图片(线性扫描)且接着对图像数据进行取样。所述装置进一步包括硬件设计的图像数据处理单元(例如FPGA)，所述图像数据处理单元用于检测作为特定晶片形元件的开始(A)的指示或末尾(E)的指示的边缘(KA)，其中所述边缘检测是用于控制待拍摄以用于视觉检验以找出所述太阳能电池的缺陷区域的数字静止图片(EZ)的产生。
公开/授权文献:
- CN101673784A 用于在生产过程期间产生晶片形元件的数字静止图片的方法及装置 公开/授权日：2010-03-17