基本信息:
- 专利标题： 肟类化合物及包含该化合物的抗蚀剂组合物
- 专利标题（英）：Oxime compound and resist composition containing the same
- 申请号：CN200910165057.6 申请日：2009-07-24
- 公开(公告)号：CN101638374A 公开(公告)日：2010-02-03
- 发明人： 增山达郎 , 桥本和彦 , 平冈崇志 , 武元一树
- 申请人： 住友化学株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都中央区新川2丁目27番1号
- 专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人： 住友化学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都中央区新川2丁目27番1号
- 代理机构： 上海市华诚律师事务所
- 代理人： 徐申民; 涂勇
- 优先权： 2008-193202 2008.07.28 JP; 2008-316757 2008.12.12 JP
- 主分类号： C07C309/70
- IPC分类号： C07C309/70 ; C07D309/12 ; C07C303/28 ; C08F222/24 ; C08F220/18 ; C08F122/24 ; G03F7/004
摘要：
一种由结构式(I)表示的肟类化合物，其中，Y代表未被取代的或被取代的n价C6-C14芳烃基，n代表1至6的整数，R1代表C1-C30脂肪烃基等，R2代表直链或支链C1-C20脂肪烃基等，W代表-CO-O-等，Q1和Q2各自独立地代表氟原子等，Z代表C1-C20卤代脂肪烃基等。本文还公开了包含该化合物的抗蚀剂组合物。
摘要（英）：
An oxime compound represented by the formula (I): wherein Y represents an unsubstituted or substituted n-valent C6-C14 aromatic hydrocarbon group, n represents an integer of 1 to 6, R1) represents a C1-C30 aliphatic hydrocarbon group etc., R2 represents a linear or branched chain C1-C20 aliphatic hydrocarbon group etc., W represents -CO-O- etc., Q1 and Q2 each independently represent a fluorine atom etc., Z represents a C1-C20 halogenated aliphatic hydrocarbon group etc., and the resist composition containing the same.
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C07 | 有机化学 |
| ----C07C | 无环或碳环化合物 |
| ------C07C309/00 | 磺酸；其卤化物、酯或酐 |
| --------C07C309/01 | .磺酸 |
| ----------C07C309/64 | ..酯化磺基的硫原子连接非环碳原子 |
| ------------C07C309/70 | ...碳架被羧基取代的 |