基本信息:
- 专利标题： 离子源、系统和方法
- 专利标题（英）：Ion sources, systems and methods
- 申请号：CN200680051585.3 申请日：2006-11-15
- 公开(公告)号：CN101361158A 公开(公告)日：2009-02-04
- 发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
- 申请人： 阿利斯公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 阿利斯公司
- 当前专利权人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理人： 陶凤波
- 优先权： 60/741,956 2005.12.02 US; 11/385,136 2006.03.20 US; 11/385,215 2006.03.20 US; 60/784,331 2006.03.20 US; 60/784,388 2006.03.20 US; 60/784,390 2006.03.20 US; 60/784,500 2006.03.20 US; 60/795,806 2006.04.28 US; 60/799,203 2006.05.09 US
- 国际申请： PCT/US2006/044729 2006.11.15
- 国际公布： WO2007/067328 EN 2007.06.14
- 进入国家日期： 2008-07-22
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J9/02 ; H01J37/08 ; H01J37/252 ; H01J37/317 ; B81B1/00 ; G01N23/225 ; G12B21/02 ; H01J27/26
摘要：
公开了离子源、系统和方法。
摘要（英）：
Ion sources, systems and methods are disclosed.
公开/授权文献:
- CN101361158B 离子源、系统和方法 公开/授权日：2015-04-08