基本信息:
- 专利标题： 电离规
- 专利标题（英）：Ionization gage
- 申请号：CN200710074323.5 申请日：2007-05-09
- 公开(公告)号：CN101303264A 公开(公告)日：2008-11-12
- 发明人： 肖林 , 陈丕瑾 , 胡昭复 , 魏洋 , 刘亮 , 范守善
- 申请人： 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心310号
- 专利权人： 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人： 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心310号
- 主分类号： G01L21/30
- IPC分类号： G01L21/30
摘要：
本发明涉及一种电离规，该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，其中，线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子，从而测量气体压强，因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点，适用于对温度或光敏感的真空系统。
摘要（英）：
The present invention relates to an ionization gauge comprising a filamentary cathode comprising a filamentary base body and a field emission film provided on the filamentary base body, an anode surrounding the outside of the filamentary cathode and an ion collecting electrode surrounding the outside of the anode. And carbon nanotubes are preferable for the field emission film. The ionization gauge can emit electrons due to the field emission property of the carbon nanotubes for measuring gas pressure intensity. The ionization gauges having the advantages of simple structure, good stability, low power consumption, low degassing rate and the like are suitable for the vacuum systems sensitive to temperature or light.
公开/授权文献:
- CN101303264B 电离规 公开/授权日：2010-05-26