![光学检测装置](/CN/2006/1/34/images/200610172543.jpg)
基本信息:
- 专利标题: 光学检测装置
- 专利标题(英):Optical detector
- 申请号:CN200610172543.7 申请日:2006-12-29
- 公开(公告)号:CN101210886A 公开(公告)日:2008-07-02
- 发明人: 黄炜展 , 洪朝阳 , 郑智杰 , 吕尚杰
- 申请人: 财团法人工业技术研究院
- 申请人地址: 中国台湾新竹县
- 专利权人: 财团法人工业技术研究院
- 当前专利权人: 财团法人工业技术研究院
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理人: 陶凤波
- 主分类号: G01N21/94
- IPC分类号: G01N21/94 ; G01N21/896
摘要:
光学检测装置包括多个光学感测器、多个取像单元、多个检测单元、多个子控制单元、整合单元及主控制单元。这些光学感测器用以感测基板。这些取像单元分别用以驱动这些光学感测器,以采集多个图像信息。这些检测单元分别用以检测这些图像信息,并输出多个检测信息。这些子控制单元分别用以控制这些取像单元及这些检测单元。整合单元用以整合这些检测信息,并输出检测结果。主控制单元用以控制这些子控制单元。
摘要(英):
An optical detection device comprises a plurality of optical sensors for sensing base plates, a plurality of imaging units for driving the optical sensors, a plurality of detection units for detecting image information and outputting a plurality of detection information, a plurality of subcontrol units respectively used for controlling the imaging units and the detection units, an integration unit for integrating the detection information and outputting the detection results, and a main control unit for controlling the subcontrol units.
公开/授权文献:
- CN101210886B 光学检测装置 公开/授权日:2010-12-08
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
------G01N21/00 | 利用光学手段,即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
--------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |
------------G01N21/94 | ...研究污染,例如灰尘 |