基本信息:
- 专利标题： 在多个工作站之间的传送腔室
- 专利标题（英）：Transfer chamber between workstations
- 申请号：CN200680019260.7 申请日：2006-03-29
- 公开(公告)号：CN101189713A 公开(公告)日：2008-05-28
- 发明人： C·M·哈里斯
- 申请人： 布鲁克斯自动化公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 布鲁克斯自动化公司
- 当前专利权人： 博鲁可斯自动化控股有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理人： 王庆海; 陈景峻
- 优先权： 11/093,480 2005.03.30 US
- 国际申请： PCT/US2006/011461 2006.03.29
- 国际公布： WO2006/105195 EN 2006.10.05
- 进入国家日期： 2007-11-30
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677
摘要：
桥接腔室形成在相邻衬底处理工作站系统之间，并通过在相邻衬底处理工作站系统中形成的端口连接。使用传输机构将衬底移动到桥接腔室中或者移出桥接腔室以旁路掉初级传输系统。
公开/授权文献:
- CN101189713B 在多个工作站之间的传送腔室 公开/授权日：2012-03-28