基本信息:
- 专利标题： 具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料及其抗蚀剂成像法
- 专利标题（英）：Image forming member having bluish purple laser photosensitive resist material layer and method for forming resist image
- 申请号：CN200710182370.1 申请日：2003-08-05
- 公开(公告)号：CN101135850A 公开(公告)日：2008-03-05
- 发明人： 浦野年由 , 龟山泰弘 , 藤田理惠子 , 宫泽隆司 , 利光惠理子
- 申请人： 三菱化学株式会社 , 日本合成化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 三菱化学株式会社,日本合成化学工业株式会社
- 当前专利权人： 三菱化学株式会社,日合墨东株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理人： 丁香兰; 李建忠
- 优先权： 2002-229416 2002.08.07 JP; 2002-365470 2002.12.17 JP; 2003-17559 2003.01.27 JP; 2003-34161 2003.02.12 JP; 2003-44649 2003.02.21 JP
- 分案原申请号： 038187469
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/031 ; G03F7/033
摘要：
本发明提供一种成像材料及其抗蚀剂成像法，该成像材料具有对紫光区激光束高度敏感的紫激光感光性抗蚀剂材料层，同时，即使当抗蚀剂材料层的膜较厚时，其感光性也不会下降。本发明提供一种具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料，该成像材料包括被加工基板和形成于所述基板上的紫激光感光性抗蚀剂材料层，其中所述感光性抗蚀剂材料层的膜厚至少为10μm，并且在405nm的波长处具有每1μm膜厚至多为0.3的吸光度，本发明还提供一种抗蚀剂成像法，其中用波长为320nm至450nm的激光束对所述成像材料的感光性抗蚀剂材料层进行扫描曝光，随后进行显影处理。
公开/授权文献:
- CN101135850B 具有青紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料及其抗蚀剂成像法 公开/授权日：2011-02-16