基本信息:
- 专利标题： 聚硅氮烷处理溶剂及用该溶剂处理聚硅氮烷的方法
- 专利标题（英）：Polysilazane-treating solvent and method for treating polysilazane by using such solvent
- 申请号：CN200680003534.3 申请日：2006-02-01
- 公开(公告)号：CN101111575A 公开(公告)日：2008-01-23
- 发明人： 松尾英树 , 一山昌章 , 石川智规 , 青木宏幸 , 布鲁斯·凯克 , 约瑟夫·奥伯兰德
- 申请人： AZ电子材料(日本)株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： AZ电子材料(日本)株式会社
- 当前专利权人： 默克专利有限公司
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 北京三幸商标专利事务所
- 代理人： 刘激扬
- 优先权： 026818/2005 2005.02.02 JP
- 国际申请： PCT/JP2006/301662 2006.02.01
- 国际公布： WO2006/082848 JA 2006.08.10
- 进入国家日期： 2007-07-30
- 主分类号： C09D9/00
- IPC分类号： C09D9/00 ; C11D7/24 ; C11D7/26 ; C11D7/50 ; B05D7/24 ; C01B21/068 ; C08G77/62 ; H01L21/312
摘要：
本发明涉及一种聚硅氮烷处理溶剂，其具有优异的溶解力和稳定性，对于作为底层的基底和聚硅氮烷的性能没有影响，具有良好的切割边缘形状，另外对于人体是高度安全的。该处理溶剂包含从由四氢化萘，对薄荷烷，对异丙基苯甲烷，α－蒎烯，1，8－桉树脑及其混合物构成的组中选出的溶剂，还涉及使用该溶剂的聚硅氮烷处理方法。该溶剂还可包含从由脂肪族烃、脂环烃及其混合物构成的组中选出的溶剂。
摘要（英）：
The present invention provides a polysilazane-treating solvent which has excellent dissolving power and stability, has no influence on a substrate as an underlying layer and the properties of a polysilazane, is excellent in shape of cut edge, and further has high safety to the human body. The treating solvent comprises a solvent selected from the group consisting of tetralin, p-menthane, p-cymene, alpha-pinene, 1,8-cineol, and mixtures thereof, and a polysilazane treatment method using the same. This solvent may further comprise a solvent selected from the group consisting of aliphatic hydrocarbons, alicyclic hydrocarbons, and mixtures thereof.
公开/授权文献:
- CN101111575B 聚硅氮烷处理溶剂及用该溶剂处理聚硅氮烷的方法 公开/授权日：2010-06-23