基本信息:
- 专利标题： 静电卡盘的诊断方法和真空处理装置
- 专利标题（英）：Method for diagnosing electrostatic chuck and vacuum processing apparatus
- 申请号：CN200710181281.5 申请日：2007-10-26
- 公开(公告)号：CN100570820C 公开(公告)日：2009-12-16
- 发明人： 佐佐木康晴 , 冈城武敏
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理人： 龙淳
- 优先权： 2006-293040 2006.10.27 JP
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/683 ; H01L21/02 ; H01L21/67
摘要：
本发明提供一种静电卡盘的诊断方法，其利用简单的方法对静电卡盘的寿命进行预测。在利用设置在载置台上部的静电卡盘对基板进行静电吸附、并且对该基板进行等离子体处理时，定期地对基板进行作为相同的等离子体处理的诊断用方案，对向静电卡盘的表面与基板的背面之间的间隙供给的背面气体的压力进行调整，使得此时的各基板的温度成为规定温度，记录该调整后的背面气体的压力，对该背面气体的压力的经时变化进行监视，由此，能够简便地预测静电卡盘的寿命。
公开/授权文献:
- CN101170057A 静电卡盘的诊断方法、真空处理装置和存储介质 公开/授权日：2008-04-30
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |