基本信息:
- 专利标题： 半导体测试装置及其控制方法
- 专利标题（英）：Semiconductor test apparatus and control method therefor
- 申请号：CN200480016976.2 申请日：2004-06-15
- 公开(公告)号：CN100524536C 公开(公告)日：2009-08-05
- 发明人： 佐藤和彦 , 明世范 , 千叶浩幸
- 申请人： 爱德万测试株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 爱德万测试株式会社
- 当前专利权人： 爱德万测试株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
- 代理人： 寿宁
- 优先权： 174477/2003 2003.06.19 JP; 185679/2003 2003.06.27 JP
- 国际申请： PCT/JP2004/008361 2004.06.15
- 国际公布： WO2004/114318 JA 2004.12.29
- 进入国家日期： 2005-12-16
- 主分类号： G11C29/00
- IPC分类号： G11C29/00 ; G01R31/28
摘要：
本发明提供半导体测试装置，此装置具有第1波形生成单元，生成与各个半导体元件共同的共同信息相对应的共同图案波形；第2波形生成单元，生成与各个半导体元件对应，与个别准备的多数个别信息对应的个别图案波形；波形切换单元，有选择地进行向各个半导体元件共同输入第1波形生成单元所生成的上述共同图案波形的操作、与个别输入各个第2波形生成单元所生成的上述个别图案波形的操作。
公开/授权文献:
- CN1809896A 半导体测试装置及其控制方法 公开/授权日：2006-07-26