一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统

摘要

本发明提供一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统，其特征在于：包括宽带载波光源(1)、频率可调谐微波源(2)、电光调制器(3)、光放大器(4)、第一1×2多模光纤耦合器(5)、自聚焦透镜(6)、凸透镜(7)、光耦合透镜(8)、多模传输光纤(9)、第二1×2多模光纤耦合器(10)、高速光电探测器(11)、锁相放大器(12)、矢量微波探测器(13)和计算机(14)。本发明能够实现对液膜厚度的高精度测量。