用于缺陷分类的检验系统和方法

摘要

一种检验系统可包含耦合到差分干涉对比成像工具的控制器，所述差分干涉对比成像工具用于基于两个经剪切照明光束的照明产生样本的图像。所述控制器可基于所述样本上的缺陷的第一图像集确定第一缺陷诱发相移，所述第一图像集具有第一选定照明光谱及所述两个经剪切照明光束之间的两个或更多个选定诱发相差；基于所述缺陷的第二图像集确定第二缺陷诱发相移，所述第二图像集具有第二选定照明光谱及所述两个经剪切照明光束之间的两个或更多个选定诱发相差；及基于所述第一相移与所述第二相移的比较将所述缺陷分类为金属或非金属。