一种利用钽镀层进行微纳结构表面快速加热压印的方法

摘要

本发明公开一种利用钽镀层进行微纳结构表面快速加热压印的方法，涉及微纳阵列光学元器件技术领域，首先在模具表面添加一层石墨烯，再增镀一层金属钽，石墨烯与钽在高温下结合生成碳化钽膜，然后对碳化钽膜通电，实现在玻璃模压过程中超精密辅助加热镀层的制作与使用。本发明可以实现高精度微纳阵列光学结构的加工，加工效率高，制造成本低，模具寿命长，具有极高的应用价值。