谐振器装置及优化Q-因子的方法

摘要

谐振器装置(200)包括基板(206)和振动单元(212)，所述基板包括锚状物(204)，所述振动单元(212)与锚状物(204)相连。振动单元(212)被配置为具有第一振动模式(218)和与第一振动模式(218)不相同的第二振动模式(216)。根据实施例，配置振动单元(212)，以使第一振动模式(218)和第二振动模式(216)在锚状物(204)处相消干涉。