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该申请人涉及专利文献：4336，涉及专利：2778件

覆盖主要的IPC大类包括：G03(2327)、H01(818)、G01(251)、G02(192)、H05(190)、G06(155)、G21(59)、G05(41)、H02(26)、F16(26)

专利类型分布状况：发明公开(2777)、实用新型(1)

专利不同法律状态数据分布状况：有效专利(1124)、实质审查(888)、失效专利(434)、无效专利(197)、公开(132)

该领域主要的发明人有：H·巴特勒(51)、W·T·特尔(35)、A·J·登博夫(34)、J·洛夫(30)、A·J·布里克(28)、N·潘迪(25)、任伟明(23)、A·亚库宁(19)、P·W·H·德贾格(19)、J·J·M·巴塞曼斯(18)

详细地址：荷兰荷兰维德霍温

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专利类型	专利名称	文献号
发明公开	量测方法以及相关联的量测和光刻设备	CN117999517A
发明授权	用于对冷却罩的快速温度控制的气体混合	CN112805625B
发明授权	确定衬底的叠层配置的方法	CN112352200B
发明授权	用于测量对准的系统和方法	CN110770653B
发明授权	量测方法和用于训练用于量测的数据结构的方法	CN113966488B
发明授权	用于预测投影系统中的像差的方法和设备	CN113557476B
发明授权	通过多射束设备的个体射束控向的经改善扫描效率	CN113228221B
发明授权	用于产生用于器件制造过程的采样方案的方法和计算机程序	CN113711129B
发明公开	使用离轴照射的强度测量	CN117882013A
发明公开	量测系统、光刻设备和方法	CN117882012A
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排名	企业名称	专利
1	ASML荷兰有限公司	4333
2	ASML荷兰有限公司(NL)	2
3	ASML 荷兰有限公司	1

排名	发明人	专利
1	H·巴特勒	51
2	W·T·特尔	35
3	A·J·登博夫	34
4	J·洛夫	30
5	A·J·布里克	28
6	N·潘迪	25
7	任伟明	23
8	A·亚库宁	19
9	P·W·H·德贾格	19
10	J·J·M·巴塞曼斯	18

排名	企业名称	专利
1	中科专利商标代理有限责任公司	2719
2	北京市金杜律师事务所	1134
3	中国专利代理(香港)有限公司	465
4	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	3

排名	代理人	专利
1	王波波	755
2	王茂华	490
3	张启程	451
4	吴敬莲	334
5	王益	272
6	胡良均	254
7	王静	249
8	王新华	239
9	张宁	201
10	吕世磊	163